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產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)產(chǎn)品參數 電網(wǎng)輸入的交流正弦電壓,通過(guò)L-C高壓變換器,轉換為交流正弦電流,經(jīng)升壓,整流后成為高壓高壓直流電流源給沉積電場(chǎng)供電。 ●高壓硅整流器由高壓變壓器和高壓硅整流器組成,共同裝入一個(gè)方形金屬油箱內,并充入清潔干燥的變壓器油。交流輸入電壓由低壓絕緣套管接入,直流高電壓則由高壓絕緣套管引出。 ● 高壓高壓控制柜:由L-C高壓變換器輸出高壓電流源,并設有過(guò)壓保護和報警裝置。當變壓硅整流器工作于非正常狀態(tài)時(shí),控制柜可進(jìn)行自動(dòng)保護并同時(shí)發(fā)出報警聲。 技術(shù)特點(diǎn) ● 運行穩定,可靠性高,能長(cháng)期保持沉積效率,能承受瞬態(tài)和穩態(tài)短路,當沉積電場(chǎng)由于某種原因產(chǎn)生火花放電時(shí),由于電源輸出電流是“高壓”,電場(chǎng)中的電流不會(huì )增加,而電網(wǎng)輸入電流卻大大減少,僅為額定值的10%,確保了電源設備的安全。同時(shí),由于“高壓”,使得放電通道自行消失,不過(guò)渡到弧光放電,保護了電暈線(xiàn)和陰陽(yáng)極板。
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